Descripción:
MKS RF Matchers (también llamados cajas/redes de adaptación RF) son dispositivos de adaptación automática de impedancia de alto rendimiento diseñados para sistemas de plasma industriales y de semiconductores. Ajustan dinámicamente la impedancia de salida de 50Ω de los generadores RF con la impedancia variable de las cámaras de plasma, equipos de grabado (etchers), PECVD y sputtering, minimizando la potencia reflejada y maximizando la eficiencia de transferencia de potencia. Con ajuste rápido, blindaje robusto y diseños compactos para montaje en rack, garantizan el encendido estable del plasma, un rendimiento de proceso consistente y fiabilidad de producción 24/7. Disponibles en condiciones nuevos, reacondicionados y usados completamente probados.
Especificaciones clave:
- Adaptación automática de impedancia: ajuste en tiempo real para igualar la salida del generador de 50Ω con la impedancia variable de carga del plasma; minimiza la potencia reflejada (típicamente
- Velocidad de ajuste rápida: respuesta de alta velocidad (
- Amplio rango de frecuencia y potencia: admite 13.56MHz (estándar), 27.12MHz, 40.68MHz; potencias nominales de 300W a 10kW.
- Construcción robusta: carcasa metálica de alta resistencia con blindaje EMI/RFI; refrigeración por aire estándar (opción de refrigeración por agua para modelos de alta potencia).
- Componentes de precisión: condensadores variables de alta calidad, inductores y motores paso a paso para una larga vida útil (más de 1,000,000 de ciclos).
Aplicaciones:
- Fabricación de semiconductores: grabado RIE/ICP, deposición PECVD/LPCVD, eliminación de plasma (plasma ashing), limpieza de obleas, sistemas de carga/descarga (load lock).
- Recubrimiento en vacío: sputtering, evaporación, deposición de películas delgadas PVD/CVD para óptica, pantallas y células solares.
- Tratamiento de plasma industrial: activación de superficies, limpieza, grabado y recubrimiento de metales, plásticos y cerámicas.
- I+D: laboratorios universitarios, instituciones de investigación y líneas de producción piloto que requieren suministro estable de plasma RF.
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es la situación del producto y cómo es la garantía?
A: Productos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son las condiciones de pago?
A: Se aceptan T/T y Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante; contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A: DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.