Descripción:
Los manómetros de capacitancia MKS Baratron son transductores de vacío/presión absoluta de alta precisión premium, el estándar de la industria para equipos de proceso de vacío en semiconductores. Basados en la tecnología patentada de detección por diafragma capacitivo, ofrecen una lectura de presión independiente del tipo de gas, completamente no afectada por la composición del gas de proceso. Ampliamente utilizados con AMAT, LAM Research y plataformas principales de fabricación de obleas, proporcionan un control de presión en lazo cerrado ultraestable para procesos de grabado, CVD, PVD, ALD y sistemas de suministro de gas, garantizando una precisión de vacío constante en la cámara y mejorando el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primer nivel de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% de escala completa, excelente estabilidad a largo plazo y mínima deriva para cumplir con los estrictos requisitos de procesos de semiconductoresMKS.
- El diafragma y las partes en contacto con el fluido utilizan aleación de níquel Inconel® / Incoloy® o acero inoxidable 316L con estructura completamente soldada, resistente a gases de proceso especiales corrosivos. Probado al 100% contra fugas antes de la entrega para una operación segura en entornos de plasma exigentes.
- Cubre desde vacío ultrafino hasta alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Los modelos calentados (45℃ / 100℃ opcional) previenen eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: sistemas de grabado AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Control de vacío de precisión para deposición de películas delgadas, grabado por plasma e implantación iónica
- Armario de gases MFC, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas e interbloqueo de seguridad de presión
- Energía solar fotovoltaica, recubrimiento LED, procesamiento de vacío farmacéutico y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
P1: ¿Cuál es el estado del producto y la garantía?
R: Artículos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
P2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R: Se aceptan T/T, Paypal.
P3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio al cliente para los plazos.
P4: Envío y seguimiento
R: Disponibles DHL/FedEx/UPS. Número de seguimiento + enlace proporcionados después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
P5: Embalaje y seguridad
R: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.