Descripción:
Los manómetros capacitivos MKS Baratron son transductores de vacío/presión absoluta de alta precisión premium, el estándar de la industria para equipos de procesos de vacío en semiconductores. Basado en la tecnología patentada de detección por diafragma capacitivo, ofrece lecturas de presión independientes del tipo de gas, completamente no afectadas por la composición del gas del proceso. Ampliamente compatibles con AMAT, LAM Research y plataformas principales de fabricación de obleas, proporcionan control de presión en lazo cerrado ultraestable para sistemas de grabado, CVD, PVD, ALD y suministro de gas, garantizando una precisión de vacío de cámara consistente y mejorando el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primer nivel de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% de escala completa, excelente estabilidad a largo plazo y deriva mínima para cumplir con los estrictos requisitos de procesos de semiconductoresMKS.
- La membrana y las partes en contacto con el fluido utilizan Inconel® / Incoloy® aleación de níquel o acero inoxidable 316L con estructura completamente soldada, resistente a gases de proceso especiales corrosivos. Probado al 100% contra fugas antes de la entrega para un funcionamiento seguro en entornos de plasma hostiles.
- Cubre desde vacío ultrafino hasta alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Los modelos calentados (45℃ / 100℃ opcional) evitan eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: sistemas de grabado AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Control de vacío de precisión para deposición de películas delgadas, grabado por plasma e implantación iónica
- Armario de gas MFC, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas y enclavamiento de seguridad de presión
- FV solar, recubrimiento LED, procesamiento farmacéutico al vacío y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
Q1:¿Cuál es la condición del producto y la garantía?
A:Artículos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
Q2:¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A:T/T, Paypal supported.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionado tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A:Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.