Descripción:
MKS Baratron manómetros de capacitancia son transductores de vacío/presión absoluta de alta precisión premium, el estándar de la industria para equipos de procesos de vacío en semiconductores. Basados en la tecnología patentada de detección por diafragma de capacitancia, proporcionan una lectura de presión independiente del tipo de gas, completamente no afectada por la composición del gas de proceso. Ampliamente compatibles con AMAT, LAM Research y plataformas principales de fabricación de obleas, ofrecen control de presión en lazo cerrado ultraestable para sistemas de grabado, CVD, PVD, ALD y suministro de gases, garantizando una precisión de vacío en cámara consistente y mejorando el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primer nivel de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% de escala completa, excelente estabilidad a largo plazo y deriva mínima para cumplir con los estrictos requisitos de los procesos de semiconductoresMKS.
- El diafragma y las partes en contacto con el fluido adoptan aleación de níquel Inconel® / Incoloy® o acero inoxidable 316L con estructura totalmente soldada, resistente a gases de proceso especiales corrosivos. 100% probado contra fugas antes de la entrega para un funcionamiento seguro en entornos de plasma hostiles.
- Cubre desde vacío ultrafino hasta alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Los modelos calefactados (45℃ / 100℃ opcional) previenen eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: sistemas de grabado AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Control de vacío de precisión para deposición de películas delgadas, grabado por plasma e implantación iónica
- Armario de gases MFC, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas e interbloqueo de seguridad de presión
- Energía solar fotovoltaica, recubrimiento LED, procesamiento farmacéutico al vacío y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
Q1:¿Cuál es el estado del producto y la garantía?
A:Artículos originales completamente nuevos. Garantía de 1 año incluida.
Q2:¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A:T/T, Paypal compatible.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4:Envío y seguimiento
A:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionado después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5:Embalaje y seguridad
A:Embalaje original de marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.