Descripción:
Los manómetros de capacitancia MKS Baratron son transductores absolutos de vacío/presión de alta precisión de primera calidad, el estándar de la industria para equipos de proceso de vacío en semiconductores. Basados en la tecnología patentada de detección por diafragma de capacitancia, proporcionan lecturas de presión independientes del tipo de gas, sin verse afectados por la composición del gas de proceso. Ampliamente compatibles con AMAT, LAM Research y plataformas de fabricación de obleas convencionales, ofrecen un control de presión en lazo cerrado ultraestable para grabado, CVD, PVD, ALD y sistemas de suministro de gas, garantizando una precisión de vacío consistente en la cámara y mejorando el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primera clase de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% de la escala completa, excelente estabilidad a largo plazo y mínima deriva para cumplir con los estrictos requisitos de los procesos de semiconductores MKS.
- El diafragma y las partes húmedas utilizan aleaciones de níquel Inconel® / Incoloy® o acero inoxidable 316L con estructura completamente soldada, resistentes a gases de proceso especiales y corrosivos. 100% probado contra fugas antes de la entrega para una operación segura en entornos de plasma exigentes.
- Cubre desde vacío ultrafino hasta alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos con calefacción (45℃ / 100℃ opcionales) evitan eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: sistemas de grabado AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Control de vacío de precisión para deposición de películas delgadas, grabado por plasma e implantación de iones
- Gabinete de gases MFC, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas y enclavamiento de seguridad de presión
- Procesamiento de vacío en PV solar, recubrimiento LED, farmacéutico y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
P1: ¿Cuál es la situación del producto y la garantía?
R: Artículos genuinos completamente nuevos. Se incluye garantía de 1 año.
P2: ¿Cuáles son sus términos de pago?
R: Se aceptan T/T y Paypal.
P3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles tras el pago. Modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio al cliente para plazos.
P4: Envío y seguimiento
R: Disponibles DHL/FedEx/UPS. Se proporciona número de seguimiento + enlace tras el envío. Monitoreo completo del proceso por nuestro equipo.
P5: Embalaje y seguridad
R: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipo de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.