Descripción:
Los manómetros capacitivos MKS Baratron son transductores de vacío/presión absoluta de alta precisión de gama premium, el estándar de la industria para equipos de procesos de vacío en semiconductores. Basados en la tecnología patentada de detección por diafragma capacitivo, ofrecen una lectura de presión independiente del tipo de gas, completamente insensible a la composición del gas de proceso. Ampliamente compatibles con AMAT, LAM Research y plataformas principales de fabricación de obleas, proporcionan un control de presión en lazo cerrado ultraestable para sistemas de grabado, CVD, PVD, ALD y suministro de gas, garantizando una precisión de vacío en cámara consistente y mejorando el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primer nivel de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% Full Scale, excelente estabilidad a largo plazo y deriva mínima para cumplir con los estrictos requisitos de procesos de semiconductoresMKS.
- El diafragma y las partes en contacto con el fluido adoptan aleación de níquel Inconel® / Incoloy® o acero inoxidable 316L con estructura totalmente soldada, resistentes a gases de proceso especiales corrosivos. 100% probados contra fugas antes de la entrega para una operación segura en entornos de plasma exigentes.
- Cubre desde vacío ultrafino hasta alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Los modelos calefactados (45℃ / 100℃ opcional) previenen eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: AMAT Centura/Endura, sistemas de grabado LAM Kiyo/2300
- Control preciso de vacío para deposición de películas delgadas, grabado por plasma e implantación de iones
- MFC gabinete de gas, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas e interbloqueo de seguridad de presión
- FV solar, recubrimiento LED, procesamiento farmacéutico al vacío y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es la condición del producto y cómo es la garantía?
A: Artículos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A: Se aceptan T/T, Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A: Disponible DHL/FedEx/UPS. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.