Descripción:
Los manómetros de capacitancia MKS Baratron son transductores de vacío/presión absoluta de alta precisión premium, el estándar de la industria para equipos de procesos de vacío en semiconductores. Basados en tecnología patentada de detección por diafragma capacitivo, proporcionan lecturas de presión independientes del tipo de gas, completamente no afectadas por la composición del gas de proceso. Ampliamente compatibles con AMAT, LAM Research y las principales plataformas de fabricación de obleas, ofrecen control de presión en lazo cerrado ultraestable para sistemas de grabado, CVD, PVD, ALD y suministro de gas, garantizando una precisión de vacío constante en la cámara y mejorando el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primer nivel de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% de escala completa, excelente estabilidad a largo plazo y deriva mínima para cumplir con los estrictos requisitos de procesos de semiconductoresMKS.
- El diafragma y las partes en contacto con el medio utilizan aleación de níquel Inconel® / Incoloy® o acero inoxidable 316L con estructura totalmente soldada, resistentes a gases de proceso especiales corrosivos. Probados al 100% contra fugas antes de la entrega para un funcionamiento seguro en entornos de plasma exigentes.
- Cubre desde vacío ultrafino hasta alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Los modelos calefactados (45℃ / 100℃ opcional) previenen eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: sistemas de grabado AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Control de vacío de precisión para deposición de películas delgadas, grabado por plasma e implantación iónica
- Gabinete de gases MFC, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas e interbloqueo de seguridad de presión
- Energía solar fotovoltaica, recubrimiento LED, procesamiento farmacéutico al vacío y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
P1: ¿Cuál es el estado del producto y cómo es la garantía?
R: Artículos originales nuevos. Garantía de 1 año incluida.
P2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R: Se admite T/T, Paypal.
P3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R: Modelos estándar en stock, se envían en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte con atención al cliente para los plazos.
P4: Envío y seguimiento
R: Disponible DHL/FedEx/UPS. Se proporciona número de seguimiento + enlace después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
P5: Embalaje y seguridad
R: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.