Descripción:
Los manómetros capacitivos MKS Baratron son transductores absolutos de vacío/presión de alta precisión premium, el estándar de la industria para equipos de proceso de vacío en semiconductores. Basados en la tecnología patentada de detección por diafragma capacitivo, ofrecen una lectura de presión independiente del tipo de gas, completamente insensible a la composición del gas de proceso. Ampliamente compatibles con plataformas de fabricación de obleas de AMAT, LAM Research y otras plataformas principales, proporcionan un control de presión de circuito cerrado ultraestable para sistemas de grabado, CVD, PVD, ALD y suministro de gas, garantizando una precisión de vacío constante en la cámara y mejorando el rendimiento de la producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primer nivel de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% de escala completa, excelente estabilidad a largo plazo y deriva mínima para cumplir con los estrictos requisitos de los procesos de semiconductoresMKS.
- El diafragma y las partes en contacto con el medio adoptan aleación de níquel Inconel® / Incoloy® o acero inoxidable 316L con estructura totalmente soldada, resistentes a gases de proceso especiales corrosivos. Probados al 100% contra fugas antes de la entrega para un funcionamiento seguro en entornos de plasma exigentes.
- Cubre desde vacío ultrafino hasta alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Los modelos calentados (45℃ / 100℃ opcional) evitan eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: sistemas de grabado AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Control de vacío de precisión para deposición de películas delgadas, grabado por plasma e implantación iónica
- Gabinete de gas MFC, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas e interbloqueo de seguridad de presión
- Solar fotovoltaica, recubrimiento LED, procesamiento de vacío farmacéutico y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es la situación del producto y cómo es la garantía?
A: Productos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A: Se admiten T/T, PayPal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte con atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A: DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.