Descripción:
Los manómetros de capacitancia MKS Baratron son transductores de vacío/presión absoluta de alta precisión premium, el estándar de la industria para equipos de proceso de vacío de semiconductores. Basados en tecnología patentada de detección por diafragma capacitivo, ofrecen lecturas de presión independientes del tipo de gas, completamente no afectadas por la composición del gas de proceso. Ampliamente compatibles con AMAT, LAM Research y plataformas principales de fabricación de obleas, proporcionan control de presión de lazo cerrado ultraestable para sistemas de grabado, CVD, PVD, ALD y suministro de gases, garantizando una precisión de vacío constante en la cámara y mejorando el rendimiento de producción en la fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Precisión de primer nivel de hasta ±0.25% de la lectura, resolución ultrafina de 0.01% Full Scale, excelente estabilidad a largo plazo y deriva mínima para cumplir con los estrictos requisitos de proceso de semiconductoresMKS.
- El diafragma y las partes en contacto con el fluido adoptan aleación de níquel Inconel® / Incoloy® o acero inoxidable 316L con estructura totalmente soldada, resistentes a gases de proceso especiales corrosivos. 100% probados contra fugas antes de la entrega para una operación segura en entornos de plasma exigentes.
- Cubre vacío ultrafino a alta presión: 0.1 mTorr ~ 3000 PSIA. Modelos calefactados (45℃ / 100℃ opcional) evitan eficazmente la condensación de medios de proceso volátiles para evitar desviaciones de medición.
Aplicaciones:
- Equipos de fabricación de semiconductores: sistemas de grabado AMAT Centura/Endura, LAM Kiyo/2300
- Control de vacío de precisión para deposición de película delgada, grabado por plasma e implantación iónica
- MFC gas cabinet, sistema de bombeo de vacío, detección de fugas e interbloqueo de seguridad de presión
- Fotovoltaica solar, recubrimiento LED, procesamiento de vacío farmacéutico y pruebas de vacío de alta precisión en laboratorio
Preguntas frecuentes:
Q1:¿Cuál es el estado del producto y cómo es la garantía?
A:Artículos originales nuevos. Garantía de 1 año incluida.
Q2:¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A:T/T, Paypal compatibles.
Q3:¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4:Envío y seguimiento
A:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5:Embalaje y seguridad
A:Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.