Descripción:
MKS RF Matchers (también llamados cajas/redes de adaptación RF) son dispositivos automáticos de adaptación de impedancia de alto rendimiento diseñados para sistemas de plasma industriales y de semiconductores. Alinean dinámicamente la impedancia de salida de 50Ω de los generadores RF con la impedancia variable de cámaras de plasma, grabadores, PECVD y equipos de sputtering, minimizando la potencia reflejada y maximizando la eficiencia de transferencia de potencia. Con sintonización rápida, blindaje robusto y diseños compactos de montaje en rack, garantizan un encendido de plasma estable, un rendimiento de proceso consistente y confiabilidad de producción 24/7. Disponibles en condiciones nuevos, reacondicionados y usados completamente probados.
Especificaciones clave:
- Adaptación automática de impedancia: Sintonización en tiempo real para igualar la salida de 50Ω del generador con la impedancia variable de carga de plasma; minimiza la potencia reflejada (típicamente
- Velocidad de sintonización rápida: Respuesta de alta velocidad (
- Amplio rango de frecuencia y potencia: Compatible con 13.56MHz (estándar), 27.12MHz, 40.68MHz; potencias de 300W a 10kW
- Construcción robusta: Carcasa metálica de alta resistencia con blindaje EMI/RFI; refrigeración por aire estándar (opción refrigerada por agua para modelos de alta potencia)
- Componentes de precisión: Condensadores variables de alta calidad, inductores y motores paso a paso para una larga vida útil (más de 1,000,000 ciclos)
Aplicaciones:
- Fabricación de semiconductores: Grabado RIE/ICP, deposición PECVD/LPCVD, ashing de plasma, limpieza de obleas, sistemas de carga (load lock)
- Recubrimiento en vacío: Sputtering, evaporación, deposición de películas delgadas PVD/CVD para óptica, pantallas y células solares
- Tratamiento de plasma industrial: Activación de superficie, limpieza, grabado y recubrimiento para metales, plásticos y cerámicas
- I+D: Laboratorios universitarios, instituciones de investigación y líneas de producción piloto que requieren suministro estable de plasma RF
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es la situación del producto y cómo es la garantía?
A: Artículos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A: Se aceptan T/T y PayPal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A: Disponibles DHL/FedEx/UPS. Se proporciona número de seguimiento + enlace después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.