Descripción:
MKS RF Matchers (también llamados cajas o redes de adaptación RF) son dispositivos de adaptación de impedancia automática de alto rendimiento diseñados para sistemas de plasma industriales y de semiconductores. Alinean dinámicamente la impedancia de salida de 50Ω de los generadores RF con la impedancia variable de cámaras de plasma, equipos de grabado, PECVD y herramientas de sputtering, minimizando la potencia reflejada y maximizando la eficiencia de transferencia de potencia. Con ajuste rápido, blindaje robusto y diseños compactos montados en rack, garantizan un encendido estable del plasma, un rendimiento de proceso consistente y una fiabilidad de producción 24/7. Disponibles en condiciones nuevas, reacondicionadas y usadas totalmente probadas.
Especificaciones clave:
- Adaptación automática de impedancia: ajuste en tiempo real para igualar la salida del generador de 50Ω con la impedancia de carga variable del plasma; minimiza la potencia reflejada (típicamente
- Velocidad de ajuste rápida: respuesta de alta velocidad (
- Amplio rango de frecuencia y potencia: admite 13.56MHz (estándar), 27.12MHz, 40.68MHz; potencias de 300W a 10kW
- Construcción robusta: carcasa metálica de alta resistencia con blindaje EMI/RFI; refrigeración por aire estándar (opción de refrigeración por agua para modelos de alta potencia)
- Componentes de precisión: capacitores variables de alta calidad, inductores y motores paso a paso para una larga vida útil (más de 1,000,000 de ciclos)
Aplicaciones:
- Fabricación de semiconductores: grabado RIE/ICP, deposición PECVD/LPCVD, incineración por plasma, limpieza de obleas, sistemas de carga con bloqueo (load lock)
- Recubrimiento al vacío: sputtering, evaporación, deposición de películas delgadas PVD/CVD para óptica, pantallas y células solares
- Tratamiento industrial de plasma: activación de superficies, limpieza, grabado y recubrimiento de metales, plásticos y cerámicas
- Investigación y desarrollo: laboratorios universitarios, instituciones de investigación y líneas de producción piloto que requieren suministro estable de plasma RF
Preguntas frecuentes:
Q1:¿Cuál es el estado del producto y la garantía?
A:Productos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
Q2:¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A:Se admiten T/T y Paypal.
Q3:¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles tras el pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte con atención al cliente para los plazos.
Q4:Envío y seguimiento
A:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5:Embalaje y seguridad
A:Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.