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Controlador de flujo másico Lam Research 839-034679-001 completamente nuevo

Controlador de flujo másico Lam Research 839-034679-001 completamente nuevo

Controlador de flujo másico Lam Research 839-034679-001 completamente nuevo

Alta precisión, rendimiento estable

Adecuado para la automatización industrial

En stock y entrega rápida en todo el mundo

  • Número de artículo.:

    839-034679-001

  • Orden (MOQ):

    1

  • Pago:

    100% T/T

  • Origen del producto:

    USA

  • Color:

    As Model

  • Puerto de embarque:

    Xiamen

  • Plazo de entrega：

    2-3 days
Preguntar ahora
  • Detalles del producto

Descripción:

Los espectrómetros de fibra óptica de LAM Research son dispositivos de monitorización óptica de alta precisión integrados en equipos de procesamiento de obleas de semiconductores. Principalmente acoplados a módulos ópticos profesionales, adoptan un diseño de transmisión por fibra óptica para capturar la emisión de plasma, así como espectros de reflexión y transmisión dentro de las cámaras de proceso. Ampliamente utilizados para la detección del punto final de grabado, metrología de películas delgadas y monitorización en tiempo real de las condiciones del plasma, estas unidades garantizan un rendimiento de proceso estable, mejoran el rendimiento de producción y reducen los productos defectuosos en procesos de grabado, CVD, PVD y otros procedimientos de fabricación en vacío. Como componentes compatibles OEM originales, ofrecen excelente compatibilidad y fiabilidad a largo plazo para las herramientas de proceso de la serie completa de LAM.
 
 
 
Especificaciones clave:
  1. Equipados con detectores CCD/PMT de alta sensibilidad, ofrecen una resolución espectral sobresaliente y bajo ruido. Cubren el rango de longitud de onda UV-visible para satisfacer diversas necesidades de monitorización de procesos de semiconductores.
  2. Las interfaces de fibra SMA estándar admiten la transmisión de señales a larga distancia. Las sondas compatibles con vacío funcionan de manera estable en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma.
  3. El análisis espectral en tiempo real permite un juicio preciso del punto final de grabado, la medición del espesor de películas delgadas y de las propiedades ópticas, evitando eficazmente el sobregrabado y el subgrabado.
  4. Puertos de comunicación Ethernet y RS-232 integrados, totalmente compatibles con los protocolos de equipos de LAM para una interacción de datos fluida y enlace de sistemas.
  5. Estructura compacta y robusta con capacidad antivibración y antiinterferencias. Admite operación continua 24/7 y fácil reemplazo in situ.
 

 

Aplicaciones típicas:

  1. Sistemas de grabado por plasma, equipos de deposición de películas delgadas CVD, PVD y ALD
  2. Detección del punto final en procesos de grabado de obleas
  3. Medición in situ del espesor de películas delgadas y la reflectancia
  4. Análisis en tiempo real del estado del plasma en cámaras de proceso al vacío
  5. Plataformas de proceso principales LAM Research 2300, 9400, ExAL y otras

 

 

Preguntas frecuentes:

P1:¿Cuál es la situación del producto y cómo es la garantía?
R:Artículos originales totalmente nuevos. Garantía de 1 año incluida.

P2:¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R:T/T, Paypal compatibles.

P3:¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para conocer los plazos.

P4:Envío y seguimiento
R:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.

P5:Embalaje y seguridad

 

R:Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.

 

 

Etiquetas relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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