Descripción:
Los espectrómetros de fibra óptica de LAM Research son dispositivos de monitoreo óptico de alta precisión integrados para equipos de procesamiento de obleas de semiconductores. Principalmente acoplados con módulos ópticos profesionales, adoptan un diseño de transmisión por fibra óptica para capturar emisiones de plasma, espectros de reflexión y transmisión dentro de las cámaras de proceso. Ampliamente utilizados para la detección del punto final de grabado, metrología de películas delgadas y monitoreo en tiempo real de las condiciones del plasma, estas unidades aseguran un rendimiento de proceso estable, mejoran el rendimiento de producción y reducen productos defectuosos en grabado, CVD, PVD y otros procedimientos de fabricación al vacío. Como componentes OEM compatibles originales, presentan excelente compatibilidad y confiabilidad a largo plazo para herramientas de proceso de la serie completa de LAM Research.
Especificaciones clave:
- Equipados con detectores CCD/PMT de alta sensibilidad, que ofrecen una resolución espectral sobresaliente y bajo ruido. Cubren el rango de longitud de onda UV-visible para satisfacer diversas demandas de monitoreo de procesos de semiconductores.
- Las interfaces de fibra SMA estándar admiten transmisión de señales a larga distancia. Las sondas compatibles con vacío funcionan de manera estable en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma.
- El análisis espectral en tiempo real permite un juicio preciso del punto final del grabado, el espesor de películas delgadas y la medición de propiedades ópticas, evitando eficazmente el sobregrabado y el subgrabado.
- Puertos de comunicación Ethernet y RS-232 integrados, totalmente compatibles con los protocolos de equipos de LAM para una interacción de datos y vinculación de sistemas sin interrupciones.
- Estructura compacta y robusta con capacidad antivibración y antiinterferencias. Soporta operación continua 24/7 y fácil reemplazo en sitio.
Aplicaciones típicas:
- Sistemas de grabado de plasma, equipos de deposición de películas delgadas CVD, PVD y ALD
- Detección del punto final en procesos de grabado de obleas
- Medición in situ del espesor de películas delgadas y reflectancia
- Análisis en tiempo real del estado del plasma para cámaras de proceso al vacío
- LAM Research 2300, 9400, ExAL y otras plataformas de proceso principales
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es la situación del producto y la garantía?
R: Artículos originales completamente nuevos. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R: Se aceptan T/T y Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
R: DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
R: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.