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Controlador de flujo másico Lam Research 685-801852-002 nuevo de fábrica

Controlador de flujo másico Lam Research 685-801852-002 nuevo de fábrica

Controlador de flujo másico Lam Research 685-801852-002 nuevo de fábrica

Alta precisión, rendimiento estable

Adecuado para la automatización industrial

En stock y entrega rápida en todo el mundo

  • Número de artículo.:

    685-801852-002

  • Orden (MOQ):

    1

  • Pago:

    100% T/T

  • Origen del producto:

    USA

  • Color:

    As Model

  • Puerto de embarque:

    Xiamen

  • Plazo de entrega：

    2-3 days
Preguntar ahora
  • Detalles del producto

Descripción:

Los espectrómetros de fibra óptica de LAM Research son dispositivos de monitoreo óptico de alta precisión integrados para equipos de procesamiento de obleas de semiconductores. Principalmente acoplados con módulos ópticos profesionales, adoptan un diseño de transmisión por fibra óptica para capturar el espectro de emisión de plasma, reflexión y transmisión dentro de las cámaras de proceso. Ampliamente utilizados para la detección de punto final de grabado, metrología de películas delgadas y monitoreo en tiempo real de las condiciones del plasma, estas unidades garantizan un rendimiento de proceso estable, mejoran el rendimiento de producción y reducen productos defectuosos en procesos de grabado, CVD, PVD y otros procedimientos de fabricación en vacío. Como componentes compatibles OEM originales, presentan excelente compatibilidad y fiabilidad a largo plazo para herramientas de proceso de la serie completa de LAM.
 
 
 
Especificaciones clave:
  1. Equipados con detectores CCD/PMT de alta sensibilidad, que ofrecen una resolución espectral sobresaliente y bajo ruido. Cubren el rango de longitud de onda ultravioleta-visible para satisfacer diversas demandas de monitoreo de procesos de semiconductores.
  2. Las interfaces de fibra SMA estándar admiten transmisión de señal a larga distancia. Las sondas compatibles con vacío funcionan de forma estable en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma.
  3. El análisis espectral en tiempo real permite una determinación precisa del punto final de grabado, medición del espesor de películas delgadas y de propiedades ópticas, evitando eficazmente el sobregrabado y el subgrabado.
  4. Puertos de comunicación Ethernet y RS-232 integrados, totalmente compatibles con los protocolos de equipos LAM para una interacción de datos y vinculación de sistemas sin interrupciones.
  5. Estructura compacta y robusta con capacidad antivibración y antiinterferencias. Admite funcionamiento continuo 24/7 y fácil reemplazo en sitio.
 

 

Aplicaciones típicas:

  1. Sistemas de grabado de plasma, equipos de deposición de películas delgadas CVD, PVD y ALD
  2. Detección de punto final para procesos de grabado de obleas
  3. Medición in situ del espesor de película delgada y reflectancia
  4. Análisis en tiempo real del estado del plasma para cámaras de proceso en vacío
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL y otras plataformas de proceso principales

 

 

Preguntas frecuentes:

P1:¿Cuál es la situación del producto y la garantía?
R:Artículos nuevos y originales. Incluye 1 año de garantía.

P2:¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R:T/T, Paypal compatibles.

P3:¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.

P4:Envío y seguimiento
R:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.

P5:Embalaje y seguridad

 

R:Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.

 

 

Etiquetas relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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