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Controlador de flujo másico Lam Research 685-801852-005 completamente nuevo

Controlador de flujo másico Lam Research 685-801852-005 completamente nuevo

Controlador de flujo másico Lam Research 685-801852-005 completamente nuevo

Alta precisión, rendimiento estable

Adecuado para la automatización industrial

En stock y entrega rápida en todo el mundo

  • Número de artículo.:

    685-801852-005

  • Orden (MOQ):

    1

  • Pago:

    100% T/T

  • Origen del producto:

    USA

  • Color:

    As Model

  • Puerto de embarque:

    Xiamen

  • Plazo de entrega：

    2-3 days
Preguntar ahora
  • Detalles del producto

Descripción:

Los espectrómetros de fibra óptica de LAM Research son dispositivos de monitorización óptica de alta precisión integrados para equipos de procesamiento de obleas de semiconductores. Principalmente acoplados con módulos ópticos profesionales, adoptan un diseño de transmisión por fibra óptica para capturar la emisión de plasma, así como los espectros de reflexión y transmisión dentro de las cámaras de proceso. Ampliamente utilizados para la detección del punto final de grabado, la metrología de películas delgadas y la monitorización en tiempo real de las condiciones del plasma, estas unidades garantizan un rendimiento de proceso estable, mejoran el rendimiento de producción y reducen los productos defectuosos en procesos de grabado, CVD, PVD y otros procedimientos de fabricación al vacío. Como componentes compatibles OEM originales, ofrecen una excelente compatibilidad y fiabilidad a largo plazo para herramientas de proceso de la serie completa de LAM.
 
 
 
Especificaciones clave:
  1. Equipados con detectores CCD/PMT de alta sensibilidad, ofrecen una excelente resolución espectral y bajo nivel de ruido. Cubren el rango de longitudes de onda UV-visible para satisfacer diversas demandas de monitorización de procesos de semiconductores.
  2. Las interfaces de fibra SMA estándar permiten la transmisión de señales a larga distancia. Las sondas compatibles con vacío funcionan de manera estable en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma.
  3. El análisis espectral en tiempo real permite un juicio preciso del punto final de grabado, la medición del espesor de películas delgadas y de propiedades ópticas, evitando eficazmente el sobregrabado y el subgrabado.
  4. Puertos de comunicación Ethernet y RS-232 integrados, totalmente compatibles con los protocolos de equipos LAM para una interacción de datos fluida y conexión del sistema.
  5. Estructura compacta y robusta con capacidad antivibración y antiinterferencias. Admite funcionamiento continuo 24/7 y fácil reemplazo en sitio.
 

 

Aplicaciones típicas:

  1. Sistemas de grabado por plasma, equipos de deposición de películas delgadas CVD, PVD y ALD
  2. Detección del punto final en procesos de grabado de obleas
  3. Medición in situ del espesor de películas delgadas y la reflectancia
  4. Análisis en tiempo real del estado del plasma en cámaras de proceso al vacío
  5. Plataformas de proceso principales LAM Research 2300, 9400, ExAL y otras

 

 

Preguntas frecuentes:

P1: ¿Cuál es la condición del producto y cómo es la garantía?
R: Artículos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.

P2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R: Se aceptan T/T y Paypal.

P3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R: Modelos estándar en stock, se envían en 3–5 días hábiles tras el pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.

P4: Envío y seguimiento
R: Disponibles DHL/FedEx/UPS. Se proporciona número de seguimiento + enlace tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.

P5: Embalaje y seguridad

 

R: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.

 

 

Etiquetas relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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