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Controlador de flujo másico nuevo Lam Research 685-801852-015

Controlador de flujo másico nuevo Lam Research 685-801852-015

Controlador de flujo másico nuevo Lam Research 685-801852-015

Alta precisión, rendimiento estable

Adecuado para la automatización industrial

En stock y entrega rápida a nivel mundial

  • Número de artículo.:

    685-801852-015

  • Orden (MOQ):

    1

  • Pago:

    100% T/T

  • Origen del producto:

    USA

  • Color:

    As Model

  • Puerto de embarque:

    Xiamen

  • Plazo de entrega：

    2-3 days
Preguntar ahora
  • Detalles del producto

Descripción:

Los espectrómetros de fibra óptica de LAM Research son dispositivos de monitorización óptica de alta precisión integrados en equipos de procesamiento de obleas de semiconductores. Principalmente acoplados con módulos ópticos profesionales, adoptan un diseño de transmisión por fibra óptica para capturar la emisión de plasma, así como espectros de reflexión y transmisión dentro de las cámaras de proceso. Ampliamente utilizados para la detección del punto final de grabado, metrología de películas delgadas y monitorización en tiempo real de las condiciones del plasma, estas unidades garantizan un rendimiento de proceso estable, mejoran el rendimiento de producción y reducen los productos defectuosos en procesos de grabado, CVD, PVD y otros procedimientos de fabricación al vacío. Como componentes originales compatibles OEM, ofrecen una excelente compatibilidad y fiabilidad a largo plazo para las herramientas de proceso de la serie completa de LAM.
 
 
 
Especificaciones clave:
  1. Equipados con detectores CCD/PMT de alta sensibilidad, que ofrecen una excelente resolución espectral y bajo nivel de ruido. Cubren el rango de longitudes de onda UV-visible para satisfacer diversas necesidades de monitorización de procesos de semiconductores.
  2. Las interfaces de fibra SMA estándar soportan la transmisión de señales a larga distancia. Las sondas compatibles con vacío funcionan de forma estable en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma.
  3. El análisis espectral en tiempo real permite un juicio preciso del punto final de grabado, medición del espesor de películas delgadas y de propiedades ópticas, evitando eficazmente el sobregrabado y el subgrabado.
  4. Puertos de comunicación Ethernet y RS-232 integrados, totalmente compatibles con los protocolos de equipos LAM para una interacción de datos y vinculación de sistemas sin interrupciones.
  5. Estructura compacta y robusta con capacidad antivibración y antiinterferencias. Soporta operación continua 24/7 y fácil reemplazo in situ.
 

 

Aplicaciones típicas:

  1. Sistemas de grabado por plasma, equipos de deposición de películas delgadas CVD, PVD y ALD
  2. Detección del punto final en procesos de grabado de obleas
  3. Medición in situ del espesor de películas delgadas y la reflectancia
  4. Análisis en tiempo real del estado del plasma en cámaras de proceso al vacío
  5. LAM Research 2300, 9400, ExAL y otras plataformas de proceso principales

 

 

Preguntas frecuentes:

Q1: ¿Cuál es el estado del producto y cómo es la garantía?
A: Artículos originales completamente nuevos. Garantía de 1 año incluida.

Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A: Se admite T/T y PayPal.

Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.

Q4: Envío y seguimiento
A: DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.

Q5: Embalaje y seguridad

 

A: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.

 

 

Etiquetas relacionadas : Industrial equipment Automation components Mass Flow Controller
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