Descripción:
Los MKS RF Matchers (también llamados RF matching boxes/networks) son dispositivos de adaptación de impedancia automática de alto rendimiento diseñados para sistemas de plasma industriales y de semiconductores. Alinean dinámicamente la impedancia de salida de 50Ω de los generadores RF con la impedancia variable de cámaras de plasma, etchers, PECVD y herramientas de sputtering, minimizando la potencia reflejada y maximizando la eficiencia de transferencia de potencia. Con ajuste rápido, blindaje robusto y diseños compactos para montaje en rack, garantizan un encendido de plasma estable, un rendimiento de proceso consistente y una fiabilidad de producción 24/7. Disponibles en condiciones nuevas, reacondicionadas y usadas totalmente probadas.
Especificaciones clave:
- Adaptación automática de impedancia: Ajuste en tiempo real para adaptar la salida de 50Ω del generador a la impedancia de carga de plasma variable; minimiza la potencia reflejada (típicamente
- Velocidad de ajuste rápida: respuesta de alta velocidad (
- Amplio rango de frecuencia y potencia: soporta 13.56MHz (estándar), 27.12MHz, 40.68MHz; potencias desde 300W hasta 10kW
- Construcción robusta: carcasa metálica de alta resistencia con blindaje EMI/RFI; refrigeración por aire estándar (opción refrigerada por agua para modelos de alta potencia)
- Componentes de precisión: condensadores variables de alta calidad, inductores y motores paso a paso para larga vida útil (más de 1,000,000 ciclos)
Aplicaciones:
- Fabricación de semiconductores: grabado RIE/ICP, deposición PECVD/LPCVD, incineración de plasma (plasma ashing), limpieza de obleas, sistemas load lock
- Recubrimiento en vacío: sputtering, evaporación, deposición de película delgada PVD/CVD para óptica, pantallas y células solares
- Tratamiento de plasma industrial: activación superficial, limpieza, grabado y recubrimiento de metales, plásticos y cerámicas
- Investigación y desarrollo: laboratorios universitarios, instituciones de investigación y líneas de producción piloto que requieren suministro estable de plasma RF
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es el estado del producto y la garantía?
A: Artículos originales nuevos. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A: Se aceptan T/T, Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, se envían en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte con atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A: DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.