Descripción:
Los MKS RF Matchers (también llamados cajas/redes de adaptación RF) son dispositivos automáticos de adaptación de impedancia de alto rendimiento diseñados para sistemas de plasma industriales y de semiconductores. Alinean dinámicamente la impedancia de salida de 50Ω de los generadores RF con la impedancia variable de las cámaras de plasma, grabadores, herramientas PECVD y de sputtering, minimizando la potencia reflejada y maximizando la eficiencia de transferencia de potencia. Con ajuste rápido, blindaje robusto y diseños compactos montados en rack, garantizan un encendido de plasma estable, un rendimiento de proceso consistente y una fiabilidad de producción 24/7. Disponibles en condiciones nuevas, reacondicionadas y usadas completamente probadas.
Especificaciones clave:
- Adaptación automática de impedancia: ajuste en tiempo real para igualar la salida de 50Ω del generador con la impedancia de carga variable del plasma; minimiza la potencia reflejada (normalmente
- Velocidad de ajuste rápida: respuesta de alta velocidad (
- Amplia cobertura de frecuencia y potencia: admite 13.56MHz (estándar), 27.12MHz, 40.68MHz; potencias desde 300W hasta 10kW
- Construcción robusta: carcasa metálica de alta resistencia con blindaje EMI/RFI; refrigeración por aire estándar (opción de refrigeración por agua para modelos de alta potencia)
- Componentes de precisión: condensadores variables, inductores y motores paso a paso de alta calidad para una larga vida útil (más de 1.000.000 de ciclos)
Aplicaciones:
- Fabricación de semiconductores: grabado RIE/ICP, deposición PECVD/LPCVD, incineración por plasma, limpieza de obleas, sistemas de carga/bloqueo
- Recubrimiento al vacío: sputtering, evaporación, deposición de películas delgadas PVD/CVD para óptica, pantallas y células solares
- Tratamiento de plasma industrial: activación de superficies, limpieza, grabado y recubrimiento de metales, plásticos y cerámicas
- Investigación y desarrollo: laboratorios universitarios, instituciones de investigación y líneas de producción piloto que requieren suministro estable de plasma RF
Preguntas frecuentes:
P1: ¿Cuál es el estado del producto y cómo es la garantía?
R: Artículos nuevos originales. Incluye garantía de 1 año.
P2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R: Se aceptan T/T y Paypal.
P3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante; contacte con atención al cliente para los plazos.
P4: Envío y seguimiento
R: Disponible DHL/FedEx/UPS. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
P5: Embalaje y seguridad
R: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.