Descripción:
Los espectrómetros de fibra óptica de LAM Research son dispositivos de monitorización óptica de alta precisión integrados para equipos de procesamiento de obleas semiconductoras. Principalmente emparejados con módulos ópticos profesionales, adoptan un diseño de transmisión por fibra óptica para capturar la emisión de plasma, así como los espectros de reflexión y transmisión dentro de las cámaras de proceso. Ampliamente utilizados para la detección del punto final de grabado, la metrología de películas delgadas y la monitorización en tiempo real de las condiciones del plasma, estas unidades garantizan un rendimiento de proceso estable, mejoran el rendimiento de producción y reducen los productos defectuosos en procesos de grabado, CVD, PVD y otros procedimientos de fabricación al vacío. Como componentes compatibles OEM originales, presentan una excelente compatibilidad y fiabilidad a largo plazo para las herramientas de proceso de la serie completa de LAM.
Especificaciones clave:
- Equipados con detectores CCD/PMT de alta sensibilidad, que ofrecen una resolución espectral sobresaliente y bajo ruido. Cubren el rango de longitudes de onda UV-visible para satisfacer diversas demandas de monitorización de procesos semiconductores.
- Las interfaces de fibra estándar SMA admiten transmisión de señales a larga distancia. Las sondas compatibles con vacío funcionan de manera estable en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma.
- El análisis espectral en tiempo real permite un juicio preciso del punto final de grabado, la medición del espesor de películas delgadas y de propiedades ópticas, evitando eficazmente el sobregrabado y el infragrabado.
- Puertos de comunicación Ethernet y RS-232 integrados, totalmente compatibles con los protocolos de equipos LAM para una interacción de datos y enlace de sistemas sin interrupciones.
- Estructura compacta y robusta con capacidad antivibración y antiinterferencias. Admite funcionamiento continuo 24/7 y fácil reemplazo en sitio.
Aplicaciones típicas:
- Sistemas de grabado por plasma, equipos de deposición de películas delgadas CVD, PVD y ALD
- Detección del punto final para procesos de grabado de obleas
- Medición in situ del espesor de películas delgadas y la reflectancia
- Análisis en tiempo real del estado del plasma para cámaras de proceso al vacío
- LAM Research 2300, 9400, ExAL y otras plataformas de proceso principales
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es la situación del producto y cómo es la garantía?
A: Artículos originales totalmente nuevos. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A: Se admite T/T, Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte con atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A: DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Empaque y seguridad
A: Empaque original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.