Descripción:
El Lam Research Temperature Control Board es un componente central de gestión térmica para sistemas de grabado, deposición y procesamiento de obleas de semiconductores. Proporciona regulación de temperatura multicanal de alta precisión para mantener una estricta uniformidad térmica en cámaras de proceso, chucks electrostáticos (ESC) y etapas de obleas. Diseñado para operación 24/7 en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma, garantiza una temperatura de oblea consistente, estabiliza las recetas de proceso y maximiza el rendimiento de producción. Las placas OEM genuinas de Lam garantizan compatibilidad plug-and-play, calibración precisa y fiabilidad a largo plazo para fábricas de semiconductores de nodo avanzado (2nm/3nm).
Especificaciones clave:
- Conjunto de PCB original de Lam Research, totalmente compatible con grabadores Kiyo, plataformas ExAL y sistemas CVD/PVD. Calibrado en fábrica y probado para una integración sin problemas.
- Soporta 16–24 canales (entradas Pt100 RTD/termopar); alcanza una estabilidad de ±0.1°C en el rango de 25–150°C mediante algoritmos PID de autoajuste.
- Control de circuito cerrado para calefacción/enfriamiento (compatible con TEC); retroalimentación de sensores en tiempo real con muestreo de 500Hz; compensación de deriva ambiental y retardo de sensores.
- Clasificado para vacío (≤1×10⁻⁶ Torr), blindado contra EMI, resistente a vibraciones; opera de forma fiable a 0–55°C con inmunidad a interferencias de plasma y RF.
- Diseño modular intercambiable en caliente para reemplazo rápido; diagnósticos integrados de temperatura, estado de sensores y registro de fallos; reduce el tiempo de inactividad no planificado.
Aplicaciones típicas:
- Sistemas de grabado por plasma de Lam Research (Kiyo, ExAL, serie 9000)
- Equipos de deposición de películas delgadas CVD/PVD/ALD
- Cámaras de proceso de obleas de 200 mm / 300 mm y ESCs
- Fábricas avanzadas de lógica/memoria (nodos 2nm/3nm)
- Mantenimiento de fábricas de semiconductores, repuestos y actualizaciones
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es la situación del producto y la garantía?
A:Artículos genuinos completamente nuevos. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A:Se admite T/T y Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay inventario suficiente?
A:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte con atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A:Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.