Descripción:
El Lam Research Temperature Control Board es un componente central de gestión térmica para sistemas de grabado (etch), deposición y procesamiento de obleas de semiconductores. Proporciona regulación de temperatura multicanal de alta precisión para mantener una estricta uniformidad térmica en cámaras de proceso, chucks electrostáticos (ESC) y etapas de obleas. Diseñado para operación 24/7 en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma, garantiza una temperatura de oblea constante, estabiliza las recetas de proceso y maximiza el rendimiento de producción. Las placas OEM originales de Lam garantizan compatibilidad plug-and-play, calibración precisa y fiabilidad a largo plazo para fábricas de semiconductores de nodos avanzados (2nm/3nm).
Especificaciones clave:
- Conjunto de PCB original de Lam Research, totalmente compatible con grabadores Kiyo, plataformas ExAL y sistemas CVD/PVD. Calibrado en fábrica y probado para una integración sin problemas.
- Admite 16–24 canales (entradas de RTD Pt100/termopares); logra una estabilidad de ±0,1 °C en el rango de 25–150 °C mediante algoritmos PID de autoajuste.
- Control de lazo cerrado para calentamiento/enfriamiento (compatible con TEC); retroalimentación de sensores en tiempo real con muestreo de 500 Hz; compensación de deriva ambiental y retardo de sensores.
- Clasificado para vacío (≤1×10⁻⁶ Torr), con blindaje EMI, resistente a vibraciones; opera de forma fiable a 0–55 °C con inmunidad a interferencias de plasma y RF.
- Diseño modular y intercambiable en caliente para un reemplazo rápido; diagnósticos integrados de temperatura, estado de sensores y registro de fallos; reduce el tiempo de inactividad no planificado.
Aplicaciones típicas:
- Sistemas de grabado por plasma de Lam Research (Kiyo, ExAL, serie 9000)
- Equipos de deposición de películas delgadas CVD/PVD/ALD
- Cámaras de proceso de obleas de 200 mm / 300 mm y ESCs
- Fábricas de lógica/memoria avanzadas (nodos 2nm/3nm)
- Mantenimiento de fábricas de semiconductores, repuestos y actualizaciones
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es el estado del producto y la garantía?
R: Artículos nuevos y originales. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
R: Se aceptan T/T y Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
R: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
R: Disponible DHL/FedEx/UPS. Número de seguimiento + enlace proporcionado tras el envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
R: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.