Descripción:
El Electrostatic Chuck (ESC) de Lam Research es un componente clave para equipos de proceso al vacío de semiconductores. Utiliza fuerza electrostática para sujetar de forma segura las obleas dentro de las cámaras de proceso, garantizando un posicionamiento estable durante el grabado (etching), la deposición y otras etapas de fabricación. Diseñado con materiales de alta calidad y una estructura precisa, ofrece una fuerza de sujeción uniforme, excelente conductividad térmica y una durabilidad sobresaliente. Funciona de manera fiable en entornos de alto vacío, alta temperatura y plasma, ayudando a mantener un rendimiento de proceso consistente y un alto rendimiento de producción. Una unidad OEM genuina garantiza compatibilidad perfecta con las herramientas de procesamiento de obleas de Lam Research.
Especificaciones clave:
- Proporciona una fuerza de sujeción electrostática uniforme y estable para fijar firmemente las obleas, evitando desplazamientos durante la operación.
- Un diseño optimizado de conducción térmica permite un control eficaz de la temperatura de la oblea para obtener resultados de proceso uniformes.
- Adaptable a alto vacío, amplio rango de temperaturas y atmósfera de plasma, adecuado para operación continua 24/7 a largo plazo.
- Una estricta tolerancia de fabricación garantiza una excelente planitud de la superficie, cumpliendo con los requisitos de procesos avanzados de semiconductores.
- Totalmente compatible con los sistemas de grabado (etchers) y deposición de Lam Research, fácil de instalar y reemplazar para reducir el tiempo de inactividad.
Aplicaciones típicas:
- Sistemas de grabado por plasma de Lam Research
- Equipos de deposición de películas delgadas CVD, PVD y ALD
- Cámaras de proceso al vacío para obleas de 200mm / 300mm
- Líneas de fabricación de semiconductores y mantenimiento de equipos
Preguntas frecuentes:
Q1:¿Cuál es el estado del producto y la garantía?
A:Artículos nuevos y genuinos. Garantía de 1 año incluida.
Q2:¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A:T/T, Paypal compatibles.
Q3: ¿Cuál es el plazo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A:Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles tras el pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte con atención al cliente para conocer los plazos.
Q4:Envío y seguimiento
A:DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados tras el envío. Monitorización de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5:Embalaje y seguridad
A:Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a los impactos.