Descripción:
Esta es una placa de fuente de alimentación OEM original para LAM Research Electrostatic Chuck (ESC), un componente crítico para equipos de grabado de semiconductores y sistemas de deposición. Suministra un voltaje continuo (DC) alto y estable para sujetar firmemente las obleas mediante fuerza electrostática dentro de cámaras de vacío. Construida con componentes electrónicos de alta calidad y un diseño de circuito antiinterferencias, mantiene un rendimiento excepcional en alto vacío, altas temperaturas y fuerte interferencia de RF, garantizando un posicionamiento consistente de las obleas y un rendimiento de producción estable durante una operación continua 24/7. Es una pieza de repuesto fiable para el mantenimiento de equipos de fabricación de semiconductores.
Especificaciones clave:
- Totalmente compatible con equipos de grabado, CVD y PVD de LAM Research. Probado y calibrado estrictamente en fábrica para una coincidencia perfecta.
- Presenta un rizado ultrabajo y una salida de corriente estable. El control en bucle cerrado compensa la interferencia de RF para mantener una fuerza de sujeción constante.
- Equipada con protección contra sobretensión, sobrecorriente, sobretemperatura y detección de arco. Corta la energía instantáneamente para proteger las obleas y el equipo.
- Optimizada para entornos de sala limpia y vacío exigentes, resistente a vibraciones, calor e interferencias electromagnéticas para una larga vida útil.
- La estructura estándar y la interfaz dedicada permiten el reemplazo directo, reduciendo en gran medida el tiempo de inactividad del equipo y los costos de mantenimiento.
Aplicaciones típicas:
- Sistemas de grabado por plasma de LAM Research
- Herramientas de deposición de película delgada CVD, PVD y ALD
- Cámaras de procesamiento al vacío de obleas de 200 mm / 300 mm
- Mantenimiento de líneas de producción de semiconductores y reemplazo de piezas de repuesto
Preguntas frecuentes:
Q1: ¿Cuál es el estado del producto y la garantía?
A: Artículos originales completamente nuevos. Garantía de 1 año incluida.
Q2: ¿Cuáles son sus condiciones de pago?
A: Se aceptan T/T y Paypal.
Q3: ¿Cuál es el tiempo de entrega del producto? ¿Hay suficiente inventario?
A: Modelos estándar en stock, enviados en 3–5 días hábiles después del pago. Los modelos escasos requieren pedido al fabricante—contacte al servicio de atención al cliente para los plazos.
Q4: Envío y seguimiento
A: DHL/FedEx/UPS disponibles. Número de seguimiento + enlace proporcionados después del envío. Monitoreo de todo el proceso por nuestro equipo.
Q5: Embalaje y seguridad
A: Embalaje original de la marca con protección reforzada (espuma, cajas selladas, cajas de madera para equipos de precisión). Resistente a la humedad y a impactos.